Данные Dubline Core
Гуртов Валерий Алексеевич, Логинов Дмитрий Владимирович
Радиоэлектроника, учебные пособия, Техника, компьютерное моделирование, микроэлектроника, микросистемы, микрофлюидные микроэлектромеханические системы, биомедицинские микроэлектромеханические системы, микроэлектромеханические системы, наноэлектромеханические системы, оптические микроэлектромеханические системы
В учебном пособии представлены основные структурные элементы и принципы построения микросистем, использующие различные физические явления для регистрации входного сигнала и формирования выходного сигнала. Микросистемы подразделяются в соответсвии с этим на микроэлектромеханические системы (МЭМС), оптические МЭМС, микрофлюидные (биомедицинские) МЭМС. Рассматриваются физические основы работы датчиков и исполнительных механизмов в микросистемах, пакеты прикладных программ для компьютерного моделирования элементов микросистем. Описаны технологии, используемые в производстве МЭМС, а также особенности корпусирования и герметизации, связанные с трехмерностью микросистем. Рассмотрены особенности и подходы при разработке наноэлектромеханических систем (НЭМС). Предназначено для студентов и аспирантов вузов, специализирующихся в области микроэлектроники, научных сотрудников и разработчиков элементной базы.