Данные Dubline Core
DC.Title:
Электроразрядное оборудование и технологии создания наноструктурных слоев и покрытий
DC.Title.Alternative
DC.Creator
Григорьев Сергей Владимирович, Девятков Владимир Николаевич, Денисов Владимир Викторович, Коваль Николай Николааевич, Лопатин Илья Викторович, Шугуров Владимир Викторович, Яковлев Владислав Викторович
DC.Subject
32.85
DC.Subject.keyword
Плазма, электроразрядное оборудование, ионно-плазменные технологии, азотирование, осаждение покрытий, электронный пучок, модификация поверхности
DC.Description.abstract
Представлены вакуумные ионно-плазменные и электронно-лучевые установки для модификации поверхности материалов и изделий, разработанные в Институте сильноточной электроники Сибирского отделения РАН.
DC.Description.tableOfContents
DC.Publisher.CorporateName
Издательство ПетрГУ
DC.Publisher.CorporateName.Address
DC.Contributor
DC.Type
Text.Article
DC.Format
PDF
DC.Identifier
http://elibrary.petrsu.ru/books/21330
DC.Source
http://elibrary.petrsu.ru/books/21330
DC.Language
Русский
DC.Coverage
DC.Rights
Петрозаводский государственный университет