Данные Dubline Core

DC.Title: Разработка методов микро- и нанолитографии по оксидным пленкам переходных металлов  
DC.Title.Alternative  
DC.CreatorВеличко Андрей Александрович
Черемисин Александр Борисович
Стефанович Генрих Болеславович
Пергамент Александр Лионович
Путролайнен Вадим Вячеславович
Дутиков Дмитрий Андреевич
Кулдин Николай Александрович
Кундозерова Татьяна Валерьевна
Параничев Даниил Константинович
 
DC.Subject.keywordнанолитография, резист, модификации пленок оксидов, оксиды переходных металлов,  
DC.Subject1
3
2
 
DC.Description.abstractВ статье приведен обзор неорганических резистов, применяющихся для микро- и нанолитографии.  
DC.Description.tableOfContents  
DC.Publisher.CorporateNameИздательство ПетрГУ  
DC.Publisher.CorporateName.Address  
DC.Contributor  
DC.TypeData
 
DC.FormatPDF
 
DC.Identifierhttp://elibrary.karelia.ru/book.shtml?id=25621
DC.Sourcehttp://elibrary.karelia.ru/book.shtml?id=25621
DC.LanguageРусский
 
DC.Coverage  
DC.RightsПетрозаводский государственный университет