Данные Dubline Core

DC.Title: Электроразрядное оборудование и технологии создания наноструктурных слоев и покрытий  
DC.Title.Alternative  
DC.CreatorГригорьев Сергей Владимирович
Девятков Владимир Николаевич
Денисов Владимир Викторович
Коваль Николай Николааевич
Лопатин Илья Викторович
Шугуров Владимир Викторович
Яковлев Владислав Викторович
 
DC.Subject.keywordПлазма, электроразрядное оборудование, ионно-плазменные технологии, азотирование, осаждение покрытий, электронный пучок, модификация поверхности,  
DC.Subject1
3
 
DC.Description.abstractПредставлены вакуумные ионно-плазменные и электронно-лучевые установки для модификации поверхности материалов и изделий, разработанные в Институте сильноточной электроники Сибирского отделения РАН.  
DC.Description.tableOfContents  
DC.Publisher.CorporateNameИздательство ПетрГУ  
DC.Publisher.CorporateName.Address  
DC.Contributor  
DC.TypeData
 
DC.FormatPDF
 
DC.Identifierhttp://elibrary.karelia.ru/book.shtml?id=21330
DC.Sourcehttp://elibrary.karelia.ru/book.shtml?id=21330
DC.LanguageРусский
 
DC.Coverage  
DC.RightsПетрозаводский государственный университет