eLibrary.karelia.ru
[ Каталог -> Техника-> Радиоэлектроника]
Добавить в коллекцию
Гуртов Валерий Алексеевич, Беляев Максим Александрович, Бакшеева Анна Германовна 
Микроэлектромеханические системы
: учебное пособие для студентов физико-технических специальностей университетов
В учебном пособии представлены материалы и базовые технологии, используемые в разработке и производстве микроэлектромеханических систем (МЭМС), оптических МЭМС, биомедицинских МЭМС. Рассматриваются физические основы работы датчиков и исполнительных механизмов в МЭМС-устройствах, методы аналогий для анализа МЭМС и пакеты для компьютерного моделирования. Описаны стандарты, используемые в производстве МЭМС, а также особенности корпусирования и герметизации, связанные с трёхмерностью МЭМС. Рассмотрены особенности и подходы при разработке наноэлектромеханических систем (НЭМС). Предназначено для студентов и аспирантов вузов, специализирующихся в области микроэлектроники, научных сотрудников и разработчиков элементной базы.
Просмотреть полный текст документа


Отзывы читателей (0)

Только зарегистрированные пользователи могут оставлять отзывы. Вход / Регистрация
Описание документа
Гуртов В. А. Микроэлектромеханические системы : учебное пособие для студентов фи-зико-технических специальностей университетов / В. А. Гуртов, М. А. Беляев, А. Г. Бакшеева ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. образования Петрозав. гос. ун-т. — Петрозаводск : Изд-во ПетрГУ, 2016. — 142 с.
Издатель: Издательство ПетрГУ

Copyright: Петрозаводский государственный университет

Место издания: Петрозаводск

Год издания:2016

Описание Dublin Core

Вместе с этой книгой читают:

  • Изображение порядка судопроизводства в Великом княжестве Финляндии
  • Venäjän ja Suomen välinen Rauhansopimus : virallinen teksti sekä Itä-Karjalan autonomiaa koskevaa ilmoitus [Мирный договор между Финляндией и Россией : официальный текст с пояснениями, касающимися Восточно-Карельской автономии]
  • Описание Олонецкой губернии в историческом, статистическом и этнографическом отношениях
  • Онежские былины, записанные Александром Федоровичем Гильфердингом летом 1871 года
  • Причитанья Северного края, собранные Е. В. Барсовым. Ч.2: Плачи завоенные, рекрутские и солдатские
  •