eLibrary.karelia.ru
[ Каталог -> Техника-> Энергетика]
[ Каталог -> Техника-> Радиоэлектроника]
Добавить в коллекцию
Величко Андрей Александрович, Дутиков Дмитрий Андреевич, Кулдин Николай Александрович, Кундозерова Татьяна Валерьевна, Параничев Даниил Константинович, Пергамент Александр Лионович, Путролайнен Вадим Вячеславович, Стефанович Генрих Болеславович, Черемисин Александр Борисович 
Разработка методов микро- и нанолитографии по оксидным пленкам переходных металлов
В статье приведен обзор неорганических резистов, применяющихся для микро- и нанолитографии.
Просмотреть полный текст документа
Сборник
Ученые записки Петрозаводского государственного университета. Сер.: Естественные и технические науки. 2009. № 11 (105).
Все статьи сборника
Одигитриевская церковь в с. Кимжа. Исследования и реставрационные предложения
Опыт конечно-элементной аппроксимации железобетонных балок-стенок с проемами
Фаунистический анализ и зоогеографическое районирование территорий (на примере Карелии)
Сообщества мидий на литорали Кандалакшского залива Белого моря
О морфологической изменчивости в роде бескильница семейства мятликовых (Puccinellia Parl. семейства Poaceae)
Зональные особенности растительных ресурсов осушенных болот Карелии при их искусственном облесении
Формирование злаковых пастбищных агрофитоценозов в условиях Карелии
Динамика нелинейных параметров электромиограммы ребенка в течение первых суток жизни
Гипертрофия миокарда левого желудочка и хроническая болезнь почек
Полная потенциальная энергия конструкции с односторонними связями и ее использование при решении задачи устойчивости
Геометрические аспекты контактного взаимодействия балансов в корообдирочном барабане
Методика оптимизации парка автомобилей на вывозке сортиментов на основе имитационного моделирования в среде ГИС
Технологии с использованием диатомитов Карелии
Разработка методов микро- и нанолитографии по оксидным пленкам переходных металлов
Управление плазменными структурами и отдельными частицами в газовых разрядах
Исследование потерь импульсного электронного пучка при транспортировке в газе низкого давления


Отзывы читателей (0)

Только зарегистрированные пользователи могут оставлять отзывы. Вход / Регистрация
Описание документа
Разработка методов микро- и нанолитографии по оксидным пленкам переходных металлов / А. А. Величко [и др.] // Учен. зап. Петрозавод. гос. ун-та. Сер.: Общественные и гуманитарные науки. - 2009. - № 11 (105). - С. 82-94.
Издатель: Издательство ПетрГУ

Copyright: Петрозаводский государственный университет

Место издания: Петрозаводск

Год издания:2009

Описание Dublin Core

Вместе с этой книгой читают:

  • Очерки по истории архивного дела в СССР
  • Список населенных мест Олонецкой губернии по сведениям за 1905 год
  • О пятинах и погостах Новгородских в XYI веке, с приложением карты
  • Олонецкий сборник. Выпуск 3.
  • Олонецкая губерния: Список населенных мест
  •