Исследован процесс образования углеродных пленок в разряде в скрещенных полях в неоне и аргоне с цилиндрической геометрией электродов. Интерферометрическим способом измерено радиальное распределение толщины пленки на торцевой подложке. Предложена диффузионная модель образования пленок.
Только зарегистрированные пользователи могут оставлять отзывы. Вход / Регистрация
Описание документа
Сасин А. В. Формирование пленок в разряде в скрещенных полях / А. В. Сасин // Учен. зап. Петрозавод. гос. ун-та. Сер.: Естественные и технические науки. - 2010. - № 8 (113). - С. 110-113.
Издатель: Издательство ПетрГУ
Copyright: Петрозаводский государственный университет